永晶关联：福建省邵武市永飞化工有限公司
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质量标准：
| 分子式：CF4 分子量：88.005 | |
|
项目 |
指标 |
|
四氟化碳纯度(CF4) 10-2（v/v） ≥ |
99.999 |
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氧气(O2) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
氮气(N2) 10-6（v/v） ≤ |
4 |
|
水分(H2O) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
二氧化碳(CO2) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
一氧化碳(CO) 10-6（v/v） ≤ |
0.3 |
|
酸度(以HF计) 10-6（m/m） ≤ |
0.1 |
|
其他氟碳化合物 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
六氟化硫(SF6) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
杂质总和 10-6（v/v） ≤ |
10 |
性状：
四氟化碳相对分子量88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。熔点（101.325kPa）：-186.8℃；沸点（101.325kPa）：-128.0℃；液体密度（-127.94℃，101.325kPa）：1603kg/m³；气体密度（0℃，101.325kPa）：3.946kg/m³。
用途：
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻；在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强，四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。四氟化碳的溶氧性很好，被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。
贮存：
应存放于阴凉干燥、通风良好的场所。
运输：
运输时，四氟化碳气瓶上应附有GB190中制定的标志。
包装：
四氟化碳可用无缝钢瓶或铝合金容器装运，通常采用47L、40L、10L、8L等无缝钢瓶充装，充装压力12.5MPa，也可根据客户需要选用各种容器的气瓶。
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